发明名称 A METHOD FOR PRODUCING A LAYOUT OF ELEMENT PORTIONS FOR A SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 EP0443857(A3) 申请公布日期 1993.06.30
申请号 EP19910301399 申请日期 1991.02.21
申请人 MATSUSHITA ELECTRONICS CORPORATION 发明人 TANAKA, MAKOTO
分类号 H01L21/82;G06F17/50;H01L21/822;H01L27/02;H01L27/04;(IPC1-7):G06F15/60;H01L27/00 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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