发明名称 MEASUREMENT EQUIPMENT FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05164813(A) 申请公布日期 1993.06.29
申请号 JP19910331911 申请日期 1991.12.16
申请人 NEC CORP 发明人 SAKAZAKI ATSUSHI
分类号 G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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