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经营范围
发明名称
APPARATUS FOR PULLING UP SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号
JPH05163095(A)
申请公布日期
1993.06.29
申请号
JP19910350638
申请日期
1991.12.12
申请人
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD
发明人
TAKANO KIYOTAKA;FUSEGAWA IZUMI;YAMAGISHI HIROTOSHI
分类号
C30B15/10;C30B29/06;H01L21/208
主分类号
C30B15/10
代理机构
代理人
主权项
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