| 发明名称 |
SYSTEM REMOVING MATERIAL FROM WAFER |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH05160074(A) |
申请公布日期 |
1993.06.25 |
| 申请号 |
JP19920112756 |
申请日期 |
1992.05.01 |
| 申请人 |
HUGHES AIRCRAFT CO |
发明人 |
CHIYAARUSU BII ZAROUIN;ERU DEII BORINGAA |
| 分类号 |
H01L21/302;H01J37/32;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/66;H01L21/762;H01L27/12 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
