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经营范围
发明名称
CVD DEVICE
摘要
申请公布号
JPH05160031(A)
申请公布日期
1993.06.25
申请号
JP19910347863
申请日期
1991.12.03
申请人
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD;HITACHI LTD
发明人
SUZUKI MASAYUKI;MURAMATSU FUMIO;TAKEDA TOMOHIKO;ORITSUKI RYOJI
分类号
H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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