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发明名称 AIRTIGHT CHAMBER OF SEMICONDUCTOR PRODUCTION EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH05160110(A) 申请公布日期 1993.06.25
申请号 JP19910348908 申请日期 1991.12.05
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD;HITACHI LTD 发明人 MURAMATSU FUMIO;AOKI DAIYA;TAKEDA TOMOHIKO;TAKAHASHI KIYOSHI;ORITSUKI RYOJI
分类号 C23C14/56;H01L21/31 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
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