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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05160068(A) 申请公布日期 1993.06.25
申请号 JP19910142508 申请日期 1991.05.17
申请人 RICOH CO LTD 发明人 NAONAGA TAKUYA;INAGI SHUNICHI
分类号 H01L21/28;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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