发明名称 PROCESS FOR FABRICATING A SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE HAVING MISFETS
摘要
申请公布号 SG43193(G) 申请公布日期 1993.06.25
申请号 SG19930000431 申请日期 1993.04.13
申请人 HITACHI LTD 发明人
分类号 H01L21/8238;H01L27/088;H01L27/092;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/82;H01L27/08;H01L29/08;H01L29/10 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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