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发明名称 Optical system with polarisation compensator
摘要
申请公布号 EP0937999(B1) 申请公布日期 2005.03.23
申请号 EP19990100940 申请日期 1999.01.20
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 FUERTER, GERHARD;KAISER, WINFRIED;WAGNER, CHRISTIAN DR.;GERHARD, MICHAEL DR.;SCHUSTER, KARL-HEINZ
分类号 G02B5/30;G02B13/14;G02B27/00;G02B27/28;G03F7/20;(IPC1-7):G02B5/30 主分类号 G02B5/30
代理机构 代理人
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