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发明名称 PROCESS OF CONNECTION OF SEMICONDUCTOR PLATE WITH THERMAL COMPENSATOR
摘要
申请公布号 RU1823031(C) 申请公布日期 1993.06.23
申请号 SU19914945945 申请日期 1991.06.17
申请人 MORDOVSKIJ GOSUDARSTVENNYJ UNIVERSITET IM.N.P.OGAREVA 发明人 UCHAJKIN ILYA G;KOMAROV YURIJ M;DYAKOV PETR F;ELISEEV VYACHESLAV V
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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