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发明名称 SPUTTERING METHOD
摘要
申请公布号 JPH05156434(A) 申请公布日期 1993.06.22
申请号 JP19910342325 申请日期 1991.11.30
申请人 SONY CORP 发明人 UCHIYAMA HIROSHI;HONDA NAOKI
分类号 C23C14/34;C23C14/35;G11B5/85;G11B5/851;H01F41/18 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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