发明名称 |
防止电弧产生的静电卡盘 |
摘要 |
一种静电卡盘包括:金属板,位于金属板上的介电层,介电层和金属板具有起模针孔和冷却气体注入孔;通过起模针孔上下移动的起模针;位于起模针孔内表面上的第一保护绝缘体;以及位于注入孔内表面上的第二保护绝缘体;位于金属板上的内电极;以及围绕金属板和内电极的侧壁的绝缘体。 |
申请公布号 |
CN1291472C |
申请公布日期 |
2006.12.20 |
申请号 |
CN02132244.9 |
申请日期 |
2002.09.03 |
申请人 |
周星工程有限公司 |
发明人 |
权奇清;边洪植;李承原;金洪;韩淳锡;高富珍;金祯植 |
分类号 |
H01L21/68(2006.01);B25B11/00(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/68(2006.01) |
代理机构 |
隆天国际知识产权代理有限公司 |
代理人 |
徐金国;陈红 |
主权项 |
1.一种静电卡盘,其包括:金属板;位于金属板上的内电极;位于内电极上的介电层,其中介电层、内电极和金属板具有起模针孔和冷却气体的注入孔;通过起模针孔上下移动的起模针;位于起模针孔内表面上的第一保护绝缘体;位于注入孔内表面上的第二保护绝缘体;围绕金属板、介电层和内电极的侧壁的绝缘体;以及围绕金属板的侧壁且设置于金属板与绝缘体之间的第三保护绝缘体。 |
地址 |
韩国京畿道 |