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发明名称 SCAN TYPE ELECTRON MICROSCOPE AND ITS OBSERVING METHOD
摘要
申请公布号 JPH05151927(A) 申请公布日期 1993.06.18
申请号 JP19910335986 申请日期 1991.11.27
申请人 HITACHI LTD;HITACHI INSTR ENG CO LTD;HITACHI SCI SYST:KK 发明人 OKURA AKIMITSU;IWAMOTO HIROSHI;OTAKA TADASHI;TODOKORO HIDEO;KOMODA TSUTOMU;HIDA KAZUMASA
分类号 H01J37/22;H01J37/28 主分类号 H01J37/22
代理机构 代理人
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