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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05152522(A) 申请公布日期 1993.06.18
申请号 JP19910342457 申请日期 1991.11.29
申请人 RICOH CO LTD 发明人 FUKUSHIMA YASUSHI
分类号 H01L21/265;H01L21/266;H01L21/318;H01L27/08 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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