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发明名称
INTERFERENCE MICROSCOPE
摘要
申请公布号
JPH05150163(A)
申请公布日期
1993.06.18
申请号
JP19910339298
申请日期
1991.11.29
申请人
NIKON CORP
发明人
SHIMIZU YOSHIYUKI
分类号
G02B21/00
主分类号
G02B21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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