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发明名称
VIAHOLE CHECK DEVICE
摘要
申请公布号
JPH05152400(A)
申请公布日期
1993.06.18
申请号
JP19910316680
申请日期
1991.11.29
申请人
FUJITSU LTD
发明人
OKA KOJI;SAKASHITA YORIHIRO;ANDO MORITOSHI
分类号
H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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