| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05152528(A) |
申请公布日期 |
1993.06.18 |
| 申请号 |
JP19910316363 |
申请日期 |
1991.11.29 |
| 申请人 |
OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
MATSUMOTO RYOICHI;ASAKA HIROSHI |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/316;H01L21/8222;H01L21/8238;H01L21/8248;H01L21/8249;H01L27/06;H01L27/092 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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