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发明名称 CVD DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05152214(A) 申请公布日期 1993.06.18
申请号 JP19910339404 申请日期 1991.11.29
申请人 IWASAKI ELECTRIC CO LTD;KOWA KURIEITAA:KK 发明人 SERITA ISAO;HORIKOSHI SOICHIRO;KAWAI HIROSHI
分类号 H01L21/205;H01L21/285;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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