| 发明名称 |
PROCEDE ET INSTALLATION DE DEPOT DE COUCHES ANTIREFLET ET DE CONTROLE DE LEUR EPAISSEUR. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2664710(B1) |
申请公布日期 |
1993.06.18 |
| 申请号 |
FR19900008947 |
申请日期 |
1990.07.13 |
| 申请人 |
ETAT FRANCAIS CNET |
发明人 |
LANDREAU JEAN;NAKAJIMA HISAO |
| 分类号 |
C03C17/00;C23C14/54;G02B1/11;H01L21/66;H01S3/10;H01S5/00;H01S5/028;(IPC1-7):G02B1/10;H01S3/025 |
主分类号 |
C03C17/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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