| 发明名称 |
DEVICE FOR TRANSFERRING A WORKPIECE INTO AND OUT OF A VACUUM CHAMBER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0389820(B1) |
申请公布日期 |
1993.06.16 |
| 申请号 |
EP19900104004 |
申请日期 |
1990.03.01 |
| 申请人 |
LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
KEMPF, STEFAN |
| 分类号 |
B65G49/07;C23C14/50;C23C14/56;H01L21/677 |
主分类号 |
B65G49/07 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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