发明名称 DOUBLE DIAPHRAGM TYPE SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH05149814(A) 申请公布日期 1993.06.15
申请号 JP19910315694 申请日期 1991.11.29
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 KATO KAZUYUKI
分类号 G01L9/04;G01L9/00 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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