| 发明名称 |
PRODUCTION OF SINGLE CRYSTAL AND APPARATUS THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05148077(A) |
申请公布日期 |
1993.06.15 |
| 申请号 |
JP19910337748 |
申请日期 |
1991.11.27 |
| 申请人 |
NIKKO KYODO CO LTD |
发明人 |
FUKUDA TSUGUO;SAKAMOTO MASARU |
| 分类号 |
C30B15/02;C30B15/12;C30B29/30;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B15/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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