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发明名称 METHOD OF MAKING MASK FOR FILM STRUCTURE DEPOSITION
摘要
申请公布号 RU1821494(C) 申请公布日期 1993.06.15
申请号 SU19904840516 申请日期 1990.06.18
申请人 NAUCHNO-ISSLEDOVATELSKIJ INSTITUT "POISK" 发明人 CHETCHUEV ALEKSANDR G;CHUKALIN OLEG V;YUSSON ALEKSANDR V
分类号 C23C14/04;(IPC1-7):C23C14/04 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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