| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR MEASURING INCLINED ANGLE OF SIDE SECTION OF RECESSING AND PROJECTING PATTERN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05149731(A) |
申请公布日期 |
1993.06.15 |
| 申请号 |
JP19910316528 |
申请日期 |
1991.11.29 |
| 申请人 |
HOYA CORP |
发明人 |
TANABE MASARU;KANAI SHOJI |
| 分类号 |
G01B11/24;G01B11/26;G11B7/26 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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