发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05144981(A) 申请公布日期 1993.06.11
申请号 JP19910309275 申请日期 1991.11.25
申请人 FUJITSU LTD 发明人 AKAI TAKAO;KODAMA KUNIO
分类号 H01L23/12;H01L23/15 主分类号 H01L23/12
代理机构 代理人
主权项
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