| 发明名称 |
ETCHING METHOD, IN WHICH UNIFORMITY OF LINE WIDTH IS INCREASED |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05145217(A) |
申请公布日期 |
1993.06.11 |
| 申请号 |
JP19910275496 |
申请日期 |
1991.10.23 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
KASURIIN ROOREIN KOBAATO;JIYANETSUTO EREN KINGUSUREI;DEEBITSUDO NOERU RAITO;RICHIYAADO ANSONII SHIYUMACHIYAA |
| 分类号 |
C23F1/00;C23F1/02;C23F1/08;H01L21/48;H05K3/06 |
主分类号 |
C23F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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