| 发明名称 |
SILICON-ON-POROUS-SILICON;METHOD OF PRODUCTION AND MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB9307147(D0) |
申请公布日期 |
1993.06.09 |
| 申请号 |
GB19930007147 |
申请日期 |
1993.04.06 |
| 申请人 |
SECRETARY OF STATE FOR DEFENCE, THE |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/02;H01L21/20;H01L21/265;H01L21/321;H01L21/336;H01L21/76;H01L21/762;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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