| 发明名称 |
DAMPER DEVICE AND METHOD OF ITS USE, AND A DEVICE FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTORS USING THE DAMPER DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0490299(A3) |
申请公布日期 |
1993.06.09 |
| 申请号 |
EP19910120997 |
申请日期 |
1991.12.06 |
| 申请人 |
BRIDGESTONE CORPORATION |
发明人 |
TAKANO, KAZUYA;ONAI, SEIJI |
| 分类号 |
B23Q11/00;F16F9/38;F16F9/53;H01L21/67;(IPC1-7):F16F9/53;B60G13/00 |
主分类号 |
B23Q11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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