一种无铅压电铌酸钾钠薄膜的制备方法

摘要

本发明涉及无铅压电功能材料领域，特别涉及一种无铅压电铌酸钾钠薄膜的制备方法。它包括以下步骤：称量无水五氯化铌NbCl₅和无水乙醇，以无水苯为反应溶剂，通入氨气，抽滤、洗涤、蒸馏，得到乙醇铌溶液；称取无水乙酸钠和无水乙酸钾，并溶于乙酸溶液中，获得含钾钠混合溶液；其次称取乙醇铌溶液，溶于乙二醇甲醚溶液中，获得含铌溶液；将上述得到的含钾钠混合溶液与含铌溶液进行混合，加热、搅拌，得到铌酸钾钠溶胶，作为前驱液采用旋转成膜法制备薄膜。

主权项

1、一种无铅压电材料铌酸钾钠薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1)按摩尔比1：10～1：20分别称量无水五氯化铌NbCl5和无水乙醇，以无水苯为反应溶剂，通入氨气3～4小时，抽滤沉淀NH4Cl，将滤液用苯进行洗涤，常压蒸馏除去苯和过量的无水乙醇，得到乙醇铌溶液；2)按照铌酸钾钠Na0.5K0.5NbO3中钾、钠与铌的摩尔比0.5:0.5:1，首先称取无水乙酸钠和无水乙酸钾，并溶于乙酸溶液中，获得含钾钠混合溶液；其次称取乙醇铌溶液，溶于乙二醇甲醚溶液中，获得含铌溶液；将上述得到的含钾钠混合溶液与含铌溶液进行混合，加热到100℃，搅拌30分钟，得到铌酸钾钠溶胶，作为前驱液备用；3)将前驱液过滤后，在密封的条件下陈化24小时，采用旋转成膜法制备薄膜，即：依次在2500～3500转/分的转速下甩胶30～40秒，在200℃温度下干燥，在350℃～450℃温度下预处理3分钟，在550℃～650℃温度下进行结晶退火处理3～5分钟；重复上述甩膜、干燥、预处理、结晶退火处理过程3～4次，得到无铅压电铌酸钾钠薄膜。