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经营范围
发明名称
ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH05140771(A)
申请公布日期
1993.06.08
申请号
JP19910328185
申请日期
1991.11.15
申请人
NISSIN ELECTRIC CO LTD
发明人
YAMAGUCHI OSAMU;AMAMIYA TORU
分类号
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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