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发明名称
SEMICONDUCTOR PRESSURE METER
摘要
申请公布号
JPH05142074(A)
申请公布日期
1993.06.08
申请号
JP19910307780
申请日期
1991.11.22
申请人
YOKOGAWA ELECTRIC CORP
发明人
KUWAYAMA HIDEKI
分类号
G01L9/04;G01L9/00;H01L29/84
主分类号
G01L9/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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