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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING TWO-LEVEL WIRING
摘要
申请公布号 US5218232(A) 申请公布日期 1993.06.08
申请号 US19910705596 申请日期 1991.05.24
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 YUZURIHARA, HIROSHI;INOUE, SHUNSUKE;MIYAWAKI, MAMORU;MATSUMOTO, SHIGEYUKI
分类号 H01L23/52;C23C14/56;C23C16/04;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/8238;H01L23/532;H01L29/49 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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