发明名称 |
ION IMPLANTATION CONTROL DEVICE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH05135729(A) |
申请公布日期 |
1993.06.01 |
申请号 |
JP19910294245 |
申请日期 |
1991.11.11 |
申请人 |
NISSIN ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
KUMAZAKI HIRONORI;MATSUMOTO TAKAO |
分类号 |
C23C14/48;C23C14/54;H01J37/317;H01L21/265 |
主分类号 |
C23C14/48 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|