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发明名称 METHOD OF SCANNING ELECTRON BEAM
摘要
申请公布号 SU805446(A1) 申请公布日期 1981.02.15
申请号 SU19792712940 申请日期 1979.01.05
申请人 BARINOV GEORGIJ V,SU;GOLDENBERG RUDOLF E,SU 发明人 BARINOV GEORGIJ V,SU;GOLDENBERG RUDOLF E,SU
分类号 H01J37/30;(IPC1-7):H01J37/30 主分类号 H01J37/30
代理机构 代理人
主权项
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