| 发明名称 |
METHOD OF FORMING OF PROTRUDING ELECTRODE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05136149(A) |
申请公布日期 |
1993.06.01 |
| 申请号 |
JP19910296057 |
申请日期 |
1991.11.12 |
| 申请人 |
HAMAMATSU PHOTONICS KK |
发明人 |
YASUMA FUMITAKA;SHIBAYAMA KATSUMI;TANAKA AKIMASA |
| 分类号 |
H01L21/60;H01L21/321;H01L27/146 |
主分类号 |
H01L21/60 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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