发明名称 MANUFACTURE OF LAMINATED SOI SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH05136014(A) 申请公布日期 1993.06.01
申请号 JP19910326832 申请日期 1991.11.15
申请人 SUMITOMO METAL MINING CO LTD 发明人 SAKURAZAWA HIROYUKI
分类号 H01L21/02;H01L27/12 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
地址
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