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经营范围
发明名称
SIMULATION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH05135129(A)
申请公布日期
1993.06.01
申请号
JP19910296015
申请日期
1991.11.12
申请人
NEC CORP
发明人
CHIBA TOSHIKAZU
分类号
H01L21/82;G06F17/50
主分类号
H01L21/82
代理机构
代理人
主权项
地址
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