| 摘要 |
본 발명은 MEMS 기반 노즐 헤드 제조방법 및 그 노즐 헤드에 관한 것으로서, 노즐 홀이 형성될 실리콘 기판의 일면을 식각하여 유입홈을 형성하는 제1단계, 상기 실리콘 기판의 타면에 보호막을 형성하는 제2단계, 상기 보호막에, 노즐 홀을 포함하는 노즐 팁과 상기 노즐 팁 둘레의 회피홈에 해당하는 영역의 패터닝을 수행하는 제3단계, 상기 패터닝이 이루어진 보호막 위에 포토 레지스트를 도포하고 노즐 홀에 대응하는 부분의 패터닝을 수행하는 제4단계, 1차 식각을 통해 상기 실리콘 기판에 노즐 홈을 형성하는 제5단계, 실리콘 기판으로부터 상기 포토 레지스트를 제거하는 제6단계, 2차 식각을 통해 노즐 홀과 노즐 팁 둘레의 회피홈을 형성하는 제7단계, 및 상기 보호막을 제거하는 제8단계를 포함하는 것을 특징으로 하므로, 액체 줄기가 미세하게, 그리고 연속적으로 분사될 수 있도록 미세한 구조의 노즐을 정밀도 높게 제조할 수 있다는 이점이 있다. |
