| 发明名称 |
DEVICE FOR INSPECTING SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05126904(A) |
申请公布日期 |
1993.05.25 |
| 申请号 |
JP19910289877 |
申请日期 |
1991.11.06 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
TAGUCHI SEIICHI |
| 分类号 |
G01R31/00;G01R31/28;G01R31/316;H03M1/00 |
主分类号 |
G01R31/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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