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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR WAFER AND SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05129258(A) 申请公布日期 1993.05.25
申请号 JP19910287580 申请日期 1991.11.01
申请人 HITACHI LTD 发明人 KATO TERUO
分类号 H01L21/304;H01L21/02;H01L27/12 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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