| 发明名称 |
CHEMICAL VAPOR GROWTH DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH05129209(A) |
申请公布日期 |
1993.05.25 |
| 申请号 |
JP19910290045 |
申请日期 |
1991.11.06 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
YUKI AKIMASA;KAWAHARA TAKAAKI;YAMAGUCHI TORU;TSUTAHARA KOUICHIROU |
| 分类号 |
C30B25/08;C30B25/14;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/31 |
主分类号 |
C30B25/08 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
