| 发明名称 |
DRY ETCHING METHOD AND ITS APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05129243(A) |
申请公布日期 |
1993.05.25 |
| 申请号 |
JP19910318330 |
申请日期 |
1991.11.05 |
| 申请人 |
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
KOMATSU HIDEO;ABE MASATOSHI;ISHIDA TAKESHIGE |
| 分类号 |
C23C14/40;C23F1/08;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46 |
主分类号 |
C23C14/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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