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摘要
申请公布号
JPH05129576(A)
申请公布日期
1993.05.25
申请号
JP19910290159
申请日期
1991.11.06
申请人
MITSUBISHI KASEI CORP
发明人
MATSUDA KIYOSHI;MIYAZAKI NOBUYOSHI;TAMAKI ATSUSHI;ISHIHARA HIROSHI
分类号
H01L27/146;H01L31/10
主分类号
H01L27/146
代理机构
代理人
主权项
地址
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