| 摘要 |
본원 발명에 의해 제공되는 화학 증착 장치는, 피성막물이 수용되는 반응 용기와, 상기 반응 용기 내에 형성된 가스 공급관 (5) 과, 상기 반응 용기 내에서 가스 공급관 (5) 을 회전축 (22) 둘레로 회전시키는 회전 구동 장치 (2) 를 갖고, 상기 가스 공급관 (5) 의 내부는, 상기 회전축 (22) 을 따라 연장되는 제 1 가스 유통부 (14) 와 제 2 가스 유통부 (15) 로 구획되고, 상기 가스 공급관 (5) 의 관벽에는, 상기 제 1 가스 유통부 (14) 에 유통하는 제 1 가스를 상기 반응 용기 내에 분출시키는 제 1 가스 분출구 (16) 와, 상기 제 2 가스 유통부 (15) 에 유통하는 제 2 가스를 상기 반응 용기 내에 분출시키는 제 2 가스 분출구 (17) 가, 상기 회전축 (22) 의 둘레 방향으로 이웃하여 배치되고, 상기 회전축 (22) 을 법선으로 하는 평면 (23) 에 있어서, 상기 제 1 가스 분출구 (16) 와, 상기 복수의 제 2 가스 분출구 (17) 는 쌍을 형성한다. |
