SPUTTERING DEVICE FOR FORMING LAMINATED FILM OF THIN MAGNETIC FILM AND NONMAGNETIC THIN FILM,申请号JP19910315268-传众专利搜索

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发明名称	SPUTTERING DEVICE FOR FORMING LAMINATED FILM OF THIN MAGNETIC FILM AND NONMAGNETIC THIN FILM
摘要
申请公布号	JPH05125528(A)	申请公布日期	1993.05.21
申请号	JP19910315268	申请日期	1991.11.05
申请人	CANON INC	发明人	KAMEYAMA MAKOTO;ANDO KENJI
分类号	C23C14/34;C23C14/35	主分类号	C23C14/34
代理机构		代理人
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