| 摘要 |
<p><P>Les portions de tubulures (1-4) de longueur L ayant une section linéaire S1 et véhiculant un débit volumique d'azote Q tel que, pour obtenir une concentration molaire en impuretés de dégazage inférieure à Cm a x , on ait Q/S1 , non inférieur à 9,5 x 10- 9 L/C m a x , <BR/> sont réalisées en acier inoxydable à faible teneur en carbone non électro-polies et/ou chimiquement traitées, les jonctions, (6, 7, 9, 11) entre tubulures et/ou avec des organes actifs (5) étant maintenues extérieurement dans une atmosphère neutre de protection confinée dans un boîtier étanche (8, 9...). <BR/> Application notamment aux industries électroniques.</P></p> |
