发明名称 MONITORING PROCESS FOR A REACTIVE PLASMA MACHINE
摘要
申请公布号 EP0493216(B1) 申请公布日期 1993.05.19
申请号 EP19910403469 申请日期 1991.12.19
申请人 SGS-THOMSON MICROELECTRONICS S.A. 发明人 DE VILLENEUVE, THIERRY, CABINET BALLOT-SCHMIT;DOMERGUE, BERNARD, CABINET BALLOT-SCHMIT
分类号 G05B19/042 主分类号 G05B19/042
代理机构 代理人
主权项
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