发明名称 |
THERMAL PHOTODETECTOR AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0510920(A3) |
申请公布日期 |
1993.05.19 |
申请号 |
EP19920303571 |
申请日期 |
1992.04.22 |
申请人 |
SHIMADZU CORPORATION |
发明人 |
KITA, JUN-ICHI;KISHIHARA, HIROYUKI |
分类号 |
G01J1/02;G01J5/02;G01J5/06;G01J5/34;H01L37/02;(IPC1-7):G01J5/10;H01L37/00 |
主分类号 |
G01J1/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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