发明名称 MOLECULAR BEAM EPITAXIAL GROWTH METHOD
摘要
申请公布号 JPH05121330(A) 申请公布日期 1993.05.18
申请号 JP19910308263 申请日期 1991.10.29
申请人 SEKIYU SANGYO KASSEIKA CENTER;NIKKO KYODO CO LTD 发明人 SAWATO HIRONOBU;OOKUBO TOMOYUKI
分类号 H01L21/203;H01S5/00 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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