| 发明名称 |
OPTICAL LITHOGRAPHIC DEVICE WITH MACHINE FRAME, FORCE OF WHICH IS COMPENSATED |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05121294(A) |
申请公布日期 |
1993.05.18 |
| 申请号 |
JP19920081687 |
申请日期 |
1992.03.03 |
| 申请人 |
PHILIPS GLOEILAMPENFAB:NV |
发明人 |
YAN FUAN EIKU;GERARUDO FUAN ENGEREN;HENDORIKUSU HERUMAN MARII KOKUSU;HENRIKUSU ERUNESUTO BEEKUMAN;FURANSHISUKASU MATEISU YAKOBUSU |
| 分类号 |
F16F15/03;F16H21/10;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30;H02P25/06 |
主分类号 |
F16F15/03 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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